效果:供给一束亮度高、照明孔径角小、平行度高、束斑小、束流安稳的照明源。为满意明场和暗场成像需求,照明束可在20-30范围内歪斜。
电子枪是电镜的电子源。其效果是发射并加快电子,并集聚成交叉点。 现在电子显微镜运用的电子源有两类:
场发射源在强电场效果下发生电子,场发射电镜FE
热阴极电子源电子构如图2-2所示,构成自偏压回路,栅极和阴极之间有数百伏的电位差。电子束在栅极和阳极间集聚为尺度为d0的交叉点,一般为几十um。 栅极的效果:约束和安稳电流。
从电子枪发射出的电子束,束斑尺度大,相干性差,平行度差,为此,需进一步集聚成近似平行的照明来,这个使命由聚光镜完成,一般有两级聚光镜来聚集。如图2-3。
为了调整束斑巨细还在C2聚光镜下装一个聚光镜光栏。一般经二级聚光后可获得N,um的电子束斑。
一起,为了减小像散,在C下还要装一个消像散器,以校对磁场成轴对称性的。 2